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題名 | 元件化虛擬機器之發展= |
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作者 | 李育棋; 黃欽印; 王立志; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200012 |
卷期 | 213 2000.12[民89.12] |
頁次 | 頁177-188 |
分類號 | 448.94 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 半導體設備通訊標準-Ⅱ; 一般性設備模型; 系統發展; 設備控制; SEMI equipment communications standard 2; SECS-Ⅱ; Generic equipment model; GEM; System development; Equipment control; |