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題 名 | A Wideband Electrostatic Microwave Switch Fabricated by Surface Micromachining=表面微加工製作靜電式寬頻微波開關 |
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作 者 | 張建六; 戴慶良; 陳振頤; 陳宏璘; 顏凱翔; 邱景宏; 張培仁; | 書刊名 | 中國工程學刊 |
卷 期 | 23:6 2000.11[民89.11] |
頁 次 | 頁781-787 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 微波開關; 共面波導; 靜電式; 寬頻; 薄膜; Microwave switch; Coplanar waveguide; Electrostatic; Wideband; Membrane; |
語 文 | 英文(English) |