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題名 | 晶圓旋轉夾盤研究與專利分析 |
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作者 | 陳宏銘; | 書刊名 | 機械工程 |
卷期 | 233 2000.08[民89.08] |
頁次 | 頁54-64 |
專輯 | 半導體設備技術 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 旋轉夾盤; 單晶圓片; 旋轉塗佈; 自我清洗; Spin chuck; Single wafer; Spin coating; Self-cleaning; |
語文 | 中文(Chinese) |