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題 名 | 硬碟多層膜製程與分析技術 |
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作 者 | 蔡哲正; 郭昇鑫; 官振臺; 歐陽浩; 林宏彝; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 209 2000.08[民89.08] |
頁 次 | 頁129-136 |
專 輯 | 奈米工程與微機電系統技術專輯 |
分類號 | 471.652 |
關鍵詞 | 磁性薄膜; 離子束鍍膜; 薄膜分析; Magnetic thin film; Film deposition by ion-beam; Thin film analysis; |
語 文 | 中文(Chinese) |