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題名 | Incorporation of Mg in GaN Grown by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition=有機金屬氣相化學沈積鎂摻雜之氮化鎵 |
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作者 | 李家銘; 洪彗芬; 卓昌正; 倪澤恩; 綦振瀛; | 書刊名 | Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering |
卷期 | 7:3 2000.08[民89.08] |
頁次 | 頁227-231 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 有機金屬化學氣相沈積; 二次離子質譜儀; 氮化鎵; 鎂摻雜; 擴散; MOCVD; GaN; Mg-doped; SIMS; Diffusion; |
語文 | 英文(English) |