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題 名 | 以氣相層析質譜法偵測半導體廠作業環境空氣中有害物=Probing Airborne Chemicals of Semiconductor Work Place Using Gas Chromatography Mass Spectrometry |
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作 者 | 葉銘鵬; 吳榮泰; 余榮彬; | 書刊名 | 勞工安全衛生研究季刊 |
卷 期 | 8:2 2000.06[民89.06] |
頁 次 | 頁159-174 |
分類號 | 412.78 |
關鍵詞 | 不鏽鋼採樣筒; 氣相層析質譜儀; 半導體; Canister; Gas chromatography mass spectrometry; Semiconductor; |
語 文 | 中文(Chinese) |