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來源資料
機械月刊
26:4=297 2000.04[民89.04]
頁296-298
機械工程
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題 名
PVD與CVD之基板迴轉部滾珠軸承簡介
作 者
戴豐成
;
書刊名
機械月刊
卷 期
26:4=297 2000.04[民89.04]
頁 次
頁296-298
專 輯
軸承專輯
分類號
446.875
關鍵詞
基板迴轉部
;
滾珠軸承
;
PVC
;
CVD
;
語 文
中文(Chinese)
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