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接觸孔蝕刻停止層之伸張應力對nMOSFET特性探討:Influence of Tensile Stress from CESL on Strained-Si and Strained-SiGe CMOSFET Characteristics
王柏清 吳三連 張守進 Wang, Bo-chin; Wu, San-lein; Chang, Shoou-jinn;
真空科技
24:1 2011.03[民100.03]
頁32-37
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