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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:3 2000.09[民89.09]
- 頁 次:
頁38-47
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題 名:
應用於大面積微波電漿源之輻射共振腔原理探討:Theory of a Diffractive Resonator for Large Area Microwave Plasma Design
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:3 2000.09[民89.09]
- 頁 次:
頁55-61
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:2 2000.07[民89.07]
- 頁 次:
頁64-67
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題 名:
微機電系統的感應耦合電漿設備與製程技術:Inductively Coupled Plasma Equipment and Technology in MEMS
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁17-24
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁25-31
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁36-38