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矽深蝕刻技術在微機電系統的應用:Deep Silicon Etching Technology and Its Application to MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
72 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁30-38
- 題 名:
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- 題 名:
微機電系統的感應耦合電漿設備與製程技術:Inductively Coupled Plasma Equipment and Technology in MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁17-24
- 題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18:3=95 1996.12[民85.12]
- 頁 次:
頁26-40
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
193 2003.01[民92.01]
- 頁 次:
頁175-180
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- 題 名:
幾何形狀對矽感應耦合電漿蝕刻的影響:Shape Effect on the Inductively Coupled Plasma Etching of Silicon
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
16:3 2004.01[民93.01]
- 頁 次:
頁19-24
- 題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
88 民95.10
- 頁 次:
頁51-54
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- 題 名:
鈦氮化物薄膜之微結構與特性研究:A Study on the Coatings and Characteristics of Ti Metal Nitride
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
30:2 2016.06[民105.06]
- 頁 次:
頁24-27
- 題 名: