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- 卷 期:
27:1 1998.09[民87.09]
- 頁 次:
頁91-97
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
21:2 1999.04[民88.04]
- 頁 次:
頁294-297
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
73 1998.08[民87.08]
- 頁 次:
頁26-29
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
140 1998.08[民87.08]
- 頁 次:
頁159-168
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20:1=105 1998.08[民87.08]
- 頁 次:
頁39-50
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20:1=105 1998.08[民87.08]
- 頁 次:
頁51-58
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:9=105 1999.09[民88.09]
- 頁 次:
頁210-216
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
198 1999.09[民88.09]
- 頁 次:
頁207-213
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
12:4 1988.07[民77.07]
- 頁 次:
頁284-289
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
68 1999.12[民88.12]
- 頁 次:
頁87-92
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題 名:
Characterization of Plasma Charging Induced Gate Oxide Damage during Metal Etching:金屬蝕刻時電漿充電損害效應的探討
- 作 者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
22:3 1998.05[民87.05]
- 頁 次:
頁416-424
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
4:9=38 1998.09[民87.09]
- 頁 次:
頁99-106
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
4:11=40 1998.11[民87.11]
- 頁 次:
頁112-116
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
5:7=48 1999.07[民88.07]
- 頁 次:
頁130-139
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
161 1988.02[民77.02]
- 頁 次:
頁27-30
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9 2001.05[民90.05]
- 頁 次:
頁107-115
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
7:4 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁14-16
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題 名:
應用於大面積微波電漿源之輻射共振腔原理探討:Theory of a Diffractive Resonator for Large Area Microwave Plasma Design
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:3 2000.09[民89.09]
- 頁 次:
頁55-61
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題 名:
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題 名:
矽深蝕刻技術在微機電系統的應用:Deep Silicon Etching Technology and Its Application to MEMS
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
72 2000.12[民89.12]
- 頁 次:
頁30-38
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
28:11 2000.11[民89.11]
- 頁 次:
頁825-835