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- 題 名:
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- 卷 期:
6:4 1999.11[民88.11]
- 頁 次:
頁35-41
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題 名:
Characterization of Plasma Charging Induced Gate Oxide Damage during Metal Etching:金屬蝕刻時電漿充電損害效應的探討
- 作 者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
22:3 1998.05[民87.05]
- 頁 次:
頁416-424
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
6:1=54 2000.01[民89.01]
- 頁 次:
頁78-87
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
9:10=103 2001.10[民90.10]
- 頁 次:
頁190-197
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29:1 2001.01[民90.01]
- 頁 次:
頁29-36
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
58 2001.10[民90.10]
- 頁 次:
頁151-155
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- 題 名:
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編 次:
1
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
12:1 2005.02[民94.02]
- 頁 次:
頁44-49
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
11:7=120 民94.07
- 頁 次:
頁110-117
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20:10=231 2014.10[民103.10]
- 頁 次:
頁170-179
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
11:3 2004.08[民93.08]
- 頁 次:
頁12-16
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
19:2 2012.06[民101.06]
- 頁 次:
頁11-14
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
18:1 2011.03[民100.03]
- 頁 次:
頁2-11
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- 題 名:
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編 次:
2
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
12:2 2005.05[民94.05]
- 頁 次:
頁18-22
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:10=147 2007.10[民96.10]
- 頁 次:
頁182-192
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
14:1 2007.04[民96.04]
- 頁 次:
頁23-28
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
20:4 2013.12[民102.12]
- 頁 次:
頁16-20
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- 題 名:
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- 書刊名:
- 卷 期:
21:1 2014.03[民103.03]
- 頁 次:
頁20-26