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題名 | 利用磁場驅動的雷射光束反射式微型鏡片之發展 |
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作者姓名(中文) | 李國賓; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 197 1999.08[民88.08] |
頁次 | 頁122-128 |
專輯 | 奈米工程暨微機電系統技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微機電系統; 微光學; 微鏡片; Micro-electro-mechanical-systems; Micro optics; Micro lens; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文將介紹利用表面微細加工技術(Surface micromachining)而製作之微型平板 反射式鏡片之研發。此種微型鏡片結合微電鍍技術,在懸浮平板上鍍上磁性合金,再經由外 左磁場之驅動,可將微型鏡片垂直旋轉至180°。本文將詳細討論微鏡片之設計,製作,模 型分析及實際光學應用之操作。 |
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