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來源資料
電子月刊
5:5=46 1999.05[民88.05]
頁130-135
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題名
皺褶多晶矽層在堆疊形動態隨機存取記憶體電容之形成與運用
作者
林俊賢
;
陳仕卿
;
書刊名
電子月刊
卷期
5:5=46 1999.05[民88.05]
頁次
頁130-135
專輯
半導體記憶體元件專輯
分類號
471.6511
關鍵詞
皺褶多晶矽層
;
動態隨機記憶體
;
DRAM
;
Rugged poly-si
;
HSG
;
語文
中文(Chinese)
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