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來源資料
電子月刊
5:7=48 1999.07[民88.07]
頁168-171
電機工程
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電燈廠
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題名
層間膜/STI的SiO[feaf]-CMP後之洗淨技術=
作者
皖之
;
期刊
電子月刊
出版日期
199907
卷期
5:7=48 1999.07[民88.07]
頁次
頁168-171
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
洗淨
;
層間絕緣膜CMP
;
SiO[feaf]-CMP
;
STI-CMP
;
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