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題名 | 抗靜電無塵衣技術=Anti-Static Technology of a Clean-room Garment |
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作者 | 陳俊傑; |
期刊 | 化工資訊月刊 |
出版日期 | 19990200 |
卷期 | 13:2 1999.02[民88.02] |
頁次 | 頁15-18 |
分類號 | 478.16 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 抗靜電無塵衣; |
中文摘要 | 本文針對電子半導體作業使用之無塵衣發展及技術做概略性的介紹,並針對抗靜 電方面之應用,分別由製程及技術上進行討論;此外,並探討微粒的防阻及過濾效果在無塵 衣著之效應。 |
英文摘要 | This article briefly introduces recent developments involving clean-room garments. The process and technology of anti-static clean-room garment are also discussed. In addition, particle conta inment and filtration are investigated to effectively control the contaminants emanating from personnel. |
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