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| 題 名 | 抗靜電無塵衣技術=Anti-Static Technology of a Clean-room Garment |
|---|---|
| 作 者 | 陳俊傑; | 書刊名 | 化工資訊月刊 |
| 卷 期 | 13:2 1999.02[民88.02] |
| 頁 次 | 頁15-18 |
| 分類號 | 478.16 |
| 關鍵詞 | 抗靜電無塵衣; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本文針對電子半導體作業使用之無塵衣發展及技術做概略性的介紹,並針對抗靜 電方面之應用,分別由製程及技術上進行討論;此外,並探討微粒的防阻及過濾效果在無塵 衣著之效應。 |
| 英文摘要 | This article briefly introduces recent developments involving clean-room garments. The process and technology of anti-static clean-room garment are also discussed. In addition, particle conta inment and filtration are investigated to effectively control the contaminants emanating from personnel. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。