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來源資料
真空科技
12:1 1999.05[民88.05]
頁42-44
電機工程
>
電燈;照明電器
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題 名
干涉式透明導電膜之研究
作 者
凌國基
;
鄭秉忠
;
張治平
;
書刊名
真空科技
卷 期
12:1 1999.05[民88.05]
頁 次
頁42-44
分類號
448.5
關鍵詞
干涉式透明導電膜
;
平板顯示器
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
由於平板顯示器尺寸及畫面品質的要求 愈來愈高,所以愈來愈需要電阻更低的透明導電膜。但目前常用的透明導電材料,氧化銦 錫 (lndium Tin Oxide, ITO) 本身為氧化物半導體, 能降低的電阻範圍有限,本研究利用 膜層間的干涉原理設計以 ITO 及銀為材料的多層干涉透明導電膜, 並用射頻濺射鍍膜法試 鍍一些簡單的樣品。
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