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來源資料
真空科技
12:1 1999.05[民88.05]
頁32-36
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題名
物理氣相濺渡法在銅配線之應用
作者
姜志宏
;
魏雲祥
;
陳宗欣
;
書刊名
真空科技
卷期
12:1 1999.05[民88.05]
頁次
頁32-36
分類號
448.552
關鍵詞
物理氣相濺渡法
;
銅配線
;
電鍍
;
語文
中文(Chinese)
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