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來源資料
燃燒學會會刊
7:3=24 1998.09[民87.09]
頁18-23
電化學工業
>
觸媒化學工業
相關文獻
Decomposition of Methyl Chloride in the Plasma Environment
應用偏壓輔強高週波電漿技術在室溫下合成鑽石薄膜
氟氯烷分解法--利用接近實用化的電漿法和輕便的紫外線照射法
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匯出書目
題名
Decomposition of Methyl Chloride in the Plasma Environment=氯甲烷於電漿環境中之分解
作者
謝連德
;
李文智
;
陳志勇
;
書刊名
燃燒學會會刊
卷期
7:3=24 1998.09[民87.09]
頁次
頁18-23
分類號
468.8
關鍵詞
高週波
;
電漿
;
氯甲烷
;
分解
;
Radio-frequency
;
RF
;
Plasma
;
Methyl chloride
;
Decomposition
;
語文
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