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來源資料
電子月刊
4:12=41 1998.12[民87.12]
頁54-62
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題名
微致動器與流體控制元件=
作者
蔡明杰
;
期刊
電子月刊
出版日期
199812
卷期
4:12=41 1998.12[民87.12]
頁次
頁54-62
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
微致動器
;
流體控制元件
;
微機電系統
;
微MEMS
;
Micro-electro-mechanical system
;
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