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來源資料
機械工業
185 1998.08[民87.08]
頁138-142
電機工程
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電燈廠
相關文獻
矽基微型氣體流量控制系統
矽基微型氣體流量控制系統
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基本資料
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題 名
矽基微型氣體流量控制系統
作 者
蔡明杰
;
周敏傑
;
吳清沂
;
書刊名
機械工業
卷 期
185 1998.08[民87.08]
頁 次
頁138-142
專 輯
奈米工程暨微機電系統技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
矽基微型氣體流量控制系統
;
語 文
中文(Chinese)
中文摘要
本文將介紹微流體元件及系統相關的技術研究。提出利用矽基微製造技術(sulicon micromaching),開發矽基微型化流量控制系統,取代傳統的質流量控制系統(MFC)。並介 紹進行中之矽基微閥及微流量感測器相關研究。
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。
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