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題 名 | A Touch Mode Capacitive Pressure Sensor with Special Ring Structure=特殊環狀結構的接觸形電容式壓力感測器 |
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作 者 | 張國明; 黃國貞; 謝友嵐; 葛文勳; | 書刊名 | Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering |
卷 期 | 5:4 1998.11[民87.11] |
頁 次 | 頁305-311 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 壓力感測器; 接觸形壓力感測器; 電容式壓力感測器; Pressure sensor; Touch mode pressure sensor; Capacitive pressure sensor; |
語 文 | 英文(English) |
中文摘要 | 本篇論文將介紹一平面式連接及高靈敏度的特殊環狀結構接觸形電容式壓力感測 器。 此感測器是設計為使用範圍在矽薄膜接觸至底部的玻璃絕緣層, 其在壓力 25psi 至 40psi 範圍內可得到 0.21pF/psi 的壓力靈敏度。此感測器有多項好處為:簡易製程,平面 式連接,高靈敏度,線性輸出及高耐壓。 |
英文摘要 | A touch mode capacitive pressure sensor with special ring structure for planar connections and sensitivity optimization is presented. The sensor is designed to operate in the pressure range where the diaphragm is touching the bottom with a thin glass layer. The sensitivity of 0.21pF/psi of the sensor can be obtained in the pressure range 25psi to 40psi. The sensor offers the advantages of simple fabrication process, planar connections, as well as high sensitivity, linear output, and large over range pressure. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。