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來源資料
科儀新知
19:6=104 1998.06[民87.06]
頁26-35
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匯出書目
題名
微氣相層析儀
作者
柯賢文
;
書刊名
科儀新知
卷期
19:6=104 1998.06[民87.06]
頁次
頁26-35
分類號
343.38
關鍵詞
微氣相層析儀
;
GC
;
語文
中文(Chinese)
中文摘要
氣相層析儀是一種非常普遍的儀器,它的功能是用於分析氣體的化學成份。美國 太空總署在探測火星(Mars)的Viking太空船計畫上(1970年代),正需要一種輕小精緻而且 耐撞擊的氣體分析儀器,因此引起利用積體電路矽晶製程技術製造微氣相層析儀的構想,這 也是微機電系統(MEMS)最早而且最具體付之實現的項目之一。本文敘述微氣相層析儀的相關 問題及其應用。
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