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題 名 | 電子背向繞射系統之介紹--掃瞄式電子顯微鏡的新利器 |
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作 者 | 廖忠賢; 黃志青; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷 期 | 19:5=103 1998.04[民87.04] |
頁 次 | 頁43-51 |
分類號 | 440.2 |
關鍵詞 | 電子背向繞射; 掃瞄式電子顯微術; 結晶學; Electron backscattered diffraction; EBSD; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 電子背向繞射(electron backscattered diffraction, EBSD)乃是分析晶粒取向、 晶界角度及顯微織構的一項新利器,並且輔以電腦的自動化分析系統,使操作者能輕易且快 速的獲得分析結果,而且能一次對大量的晶粒作分析,使結果更為完整且具代表性。EBSD 的硬體設備乃是SEM的附加套件,基本原理是利用不同取向的晶粒,得到背向電子繞射圖, 而由電腦分析這些繞射圖,並轉成可用的矩陣形態數據輸出,電腦根據這些數據可做各種有 關取向及織構的分析。除此之外,更可利用這些晶粒取向的資料重新成像,而以顏色表示不 同晶粒方向,這種將結晶學與顯微組織直接結合的新技術,更能充分研究材料微結構與性質 之關係。 |
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