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題 名 | Stable Single Mode Surface-Emitting Lasers Fabricated by Selective Zinc Diffusion and Oxidation=用選擇性鋅擴散和氧化法製造的穩態單模面射型雷射 |
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作 者 | 陳志誠; 蔡世貞; 楊英杰; | 書刊名 | 國立臺灣大學工程學刊 |
卷 期 | 75 1999.02[民88.02] |
頁 次 | 頁91-97 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 單模; 氧化法; 鋅擴散; 布拉格反射鏡; 面射型雷射; Single mode; Oxidation; Zinc diffusion; Distributed bragg reflector; Surface emitting lasers; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 我們報告一種面射型雷射,它的電流限制層是用選擇性氧化法在底層 的布拉格反射鏡上形成。用選擇性鋅擴散法將圓台周圍的布拉格反射鏡的組成 混合,以降低串聯電阻,並形成一個掩埋型共振腔作為控制模的光學孔徑。25 微米直徑主動區域的面射型雷射具有60歐姆的串接電阻。5微米光學孔徑的面 射型雷射呈現穩態的單模動作。 |
英文摘要 | Vertical-cavity surface emitting lasers (SELs) fabricated using selective oxidation to form a current confined layer in the bottom distributed Bragg reflector (DBR) are reported. Selective zinc diffusion is used to disorder the top DBR in the perimeter of mesas to reduce the series resistance, and form a buried cavity which serves as an optical aperture for the mode control. For SEL with 25m m diameter active region a low series resistance of 60 ohms is obtained. Stable single mode operation is achieved on the SEL with a 5m m diameter aperture. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。