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題 名 | 微波燒結PZT壓電陶瓷研究 |
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作 者 | 李旺秋; 劉國雄; 黃振興; 林諭男; | 書刊名 | 粉末冶金會刊 |
卷 期 | 23:4 1998.11[民87.11] |
頁 次 | 頁239-243 |
分類號 | 440.33 |
關鍵詞 | 微波燒結; 壓電陶瓷; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文主要討論利用2.45GHz微波來燒結PZT壓電陶瓷,比較其燒結後陶瓷體顯微結 構、電性之差異。以頻率 2.45GHz 之微波進行微波補助燒結,製備 PZT 系列陶瓷,並與 傳統燒結作密度,微結構及電性上的比較。微波燒結 PZT 系列陶瓷在高溫時極容易發生 熱崩潰現象 (Thermal runway),導致試片局部熔融,在實驗上以降低燒結溫度來克服。 另外 PZT 壓電陶瓷微波燒結時 PbO 氣氛保護不易,試片表面容易產生 Phrochlore 二次相, 但試片內部仍為純鈣鈦礦 (Perovskite) 結構。實驗上發現,微波燒結在 1250 ℃、12min 即 可達到 96% 論理密度,其緻密化速度非常快。微波燒結溫度越高 Ec 值越低,而 Pr值則先 下降後平緩,介電常數則在 1300 ℃有一最高值12000,利用微波燒結在1300℃ 其機電耦 合係數,有最高值50,因此整體而言,微波燒結PZT 壓電陶瓷有很好的緻密效果,且燒 結後陶瓷有甚佳的電性。 |
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