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題 名 | 大型積體電路製造廠儲冰系統經驗談=Learned from a VLSI Manufacturer's Thermal Energy Storage System |
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作 者 | 傅定儀; 林延彥; 王文伯; | 書刊名 | 中華民國冷凍空調學會季刊 |
卷 期 | 6:4=22 1998.01[民87.01] |
頁 次 | 頁15-24 |
分類號 | 446.645 |
關鍵詞 | 積體電路製造廠; 儲冰系統; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 半導體工業製程上之清淨室(Clean Room),其溫度要求極為嚴格,必須使用大 量能源以維持製程環境的空調系統。地處亞熱帶地區的台灣,使用於清淨室空調之能源約占 全廠耗能百分之四十,因此優異之儲冰系統設計,可節約運轉費用,及提高空調系統運轉之 可靠性。 本文主要在闡述台灣積體電路公司( TSMC )新建之 8 吋晶圓( wafter )廠之 分量儲冰式空調系統經驗。該系統完成後預期可達到的功能有:1. 降低約 739.5kw 尖峰供 電需量。 2. 降低約 850RT 尖峰冰水主機容量。3. 使用離峰優惠電價,降低運轉費用,每 年預估可節省總電費 431.9 萬元。4. 當台電停電時供給緊急清淨空調 5hr. 5. 達到能源管 理目的。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。