查詢結果分析
相關文獻
- Thermally Actuated Bimorph Microactuators
- Sensing and Control of Aerodynamic Separation by MEMS
- Micro Electrothermal Actuators and Their Applications on Micro-Optics
- 液壓成形雙層板之製程技術開發研究
- 改良式近場靜電紡PVDF/MWCNT壓電奈米纖維應用於微致動器
- Study on the Cold-and-hot PV Wrapping Bond Rolling of Unbounded Double-layers Sheet
- Investigation of Micro-Actuator with Magnetic Alloy Iron-Based Amorphous Plate for Loudspeaker
頁籤選單縮合
題 名 | Thermally Actuated Bimorph Microactuators=熱動式雙層板微型致動器 |
---|---|
作 者 | 林育生; 潘吉祥; 徐文祥; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 18:6 1997.12[民86.12] |
頁 次 | 頁525-531 |
分類號 | 446.11 |
關鍵詞 | 熱動式; 雙層板; 微型致動器; Bimorph beam; Microactuator; Microvibrator; |
語 文 | 英文(English) |
英文摘要 | 本論文提出一種熱動式雙層懸臂樑的設計,利用兩種材料熱膨脹係數不同,而產 生致動效果。主要材料是鋁和二氧化矽,多晶矽作導電熱源。其製程僅須三道光罩。當長度 為217μm,寬132μm,輸入電流33.9mA時,垂直位移可達93μm。長度為357μm,寬100μm ,輸入電流20mA時,垂直位移更可達156μm。顯示此一設計可用較短長度,達到較大位移, 僅須很小的功率消耗。有限單元法模擬結果顯示在7V下時的最大誤差為2%。另外,在此也提 出一種熱動式雙層板微型振動器,此振動器是由四個熱動式雙層樑及一薄板組成。在30-60 mA的電流下,可有5μm的垂直振幅。當輸入電流頻率超出60Hz時,振幅則不易觀測到。 s indicate that the current bimorph cantilever beam with a shorter length will induce bigger displacement than that of previous research. The results of finite element simulation indicate that a 2% maximum error exists under 7V. A thermally driven microvibrator, which vibrates vertically, is fabricated. This microvibrator consists of four bimorph cantilever beams and a thin plate. The microvibrator can move up and down about 5μm at the DC current of 30 to 60 mA. The amplitude is diminished apparently when the frequency of the AC current exceeds 60Hz. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。