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來源資料
光學工程
59 1997.09[民86.09]
頁18-23
光;光學
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應用光學
相關文獻
以全反射外差干涉術作微小位移之量測
全反射外差干涉術
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題名
全反射外差干涉術=Total-Internal-Reflection Heterodyne Interferometry: TIRHI
作 者
邱銘宏
;
蘇德欽
;
書刊名
光學工程
卷期
59 1997.09[民86.09]
頁次
頁18-23
分類號
336.9
關鍵詞
全反射外差干涉術
;
語文
中文(Chinese)
中文摘要
本方法是利用共光程外差干涉儀測出於全反射時所引入s-偏光(垂直偏光)與p-偏光(水平偏光)之間的相位差;此相位差與界面的相對折射率以及入射角度有關。因此只要待測的物理量與折射率或者是與入射角度有關,都可以用本方法加以測量且準確度相當高。
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