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來源資料
機械工業
171 1997.06[民86.06]
頁201-210
電機工程
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電燈廠
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題 名
積體電路技術在矽基微機械加工之應用
編 次
1
作 者
林育生
;
書刊名
機械工業
卷 期
171 1997.06[民86.06]
頁 次
頁201-210
專 輯
電子產品關鍵機械技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
積體電路
;
矽基微機械加工
;
語 文
中文(Chinese)
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