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題 名 | High Performance Monte Carlo Simulation for Ion Implantation=高效能離子植入蒙地卡羅模擬 |
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作 者 | 高耀堂; 王世維; 郭雙發; | 書刊名 | Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering |
卷 期 | 4:2 1997.05[民86.05] |
頁 次 | 頁97-104 |
分類號 | 337.8 |
關鍵詞 | 蒙地卡羅模擬; 離子植入; 向量化; 平行化; 二維內插; Monte carlo simulation; Ion implantation; Vectorization; Parallelization; Two-dimensional interpolation; |
語 文 | 英文(English) |