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題名 | 熱差式氣體流量控制器 |
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作者姓名(中文) | 鄭木火; 張少貢; 賴志一; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 3:5=22 1997.05[民86.05] |
頁次 | 頁73-88 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 熱差式氣體流量控制器; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 在半導體IC元件製程中,能準確且迅速地量測到氣體的流量,是提高生產良率及 製造高度精密電子元件的必要條件,因而流量控制器( Mass Flow Controller )為半導體 製程中不可或缺的基本元件,本文內容即探討、分析目前半導體製程中常用氣體流量控制器 的基本工作原理及其實現電路,希望讀者能因而對流量控制器的功能、操作、校正、及生產 製造增加了解。文中,我們首先說明熱差式流量測量的原理、感測元件及基本架構流程圖。 由於一流量控制器是由感測元件、流量感測電路、控制器、閥門推動電路、及閥門所組成, 而影響流量控制器的精密度最關鍵所在為流量感測器電路。因此,本文討論、分析三種類型 流量感測電路,分別為定電流型、定溫度型、及定電壓型、共五個電路。我們亦對各類型感 測電路的反應時間、實現複雜度及其對雜訊免疫力加以討論比較。由於流量控制器標準輸出 電壓值範圍為 0-5V, 而且流量感測電路及閥門等元件反應均含有非線性效應,故本文亦討 論流量控制器中常用的訊號校正電路, 包括差動放大電路、Offset 電壓歸零電路、及線性 化電路。差動放大電路可使輸出電壓符合標準規定,亦可藉調整放大倍數來改變對其他氣體 流量的控制;歸零電路用來補償 Offset 電壓;線性化電路用來補償校正以使輸出電壓與流 體流量關係能更線性化。本文最後討論了一完整的流量控制器電路。 |
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