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題 名 | Fabrication of Surface Emitting Laser Diodes=表面放光雷射二極體之研製 |
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作 者 | 易序忠; 林家傑; | 書刊名 | 中華工商專校學報 |
卷 期 | 13 1996.11[民85.11] |
頁 次 | 頁147-152 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 表面放光雷射二極體; |
語 文 | 英文(English) |
中文摘要 | 我們已成功的製作出砷化鋁鎵╱砷化鎵表面放光雷射二極體,用微剝技術發展雷 射共振腔的鏡面,雷射光束水平射出經斜面反射而垂直基板,反射鏡面是由二次液態磊晶成 長所成。 |
英文摘要 | We have succeeded in fabricating an AlGaAs/GaAs surface-emitting laser diode using one step liquid phase epitaxial growth. A micro-cleavage technique is develop to fabricate the mirrors of the laser cavity. The laser beam emitted horizontally from the edge of the laser cavity turns to vertical direction via a nearby slant metal reflector formed by pregrowth selective etching of the substrate and follwing liquid phase epitaxial growth. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。