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題 名 | 使用脈衝雷射在矽晶片(100)上成長碳類鑽膜 |
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作 者 | 林明宏; 王洪昌; | 書刊名 | 大同材料學刊 |
卷 期 | 10 1996[民85.] |
頁 次 | 頁67-72 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 場發射平面顯示器; 碳類鑽膜; 雷射束沉積法; 雷射剝蝕; Field emission display; FED; Dimond-like carbon film; DLC film; Laser beam deposition; LBD; Laser ablation; |
語 文 | 中文(Chinese) |