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題名 | 多自由度幾何誤差CCD量測系統的研製=A Possible Design of CCD Based Multi-Degree of Freedom Geometric Errors Measurement |
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作者 | 彭志光; 章明; | 書刊名 | 中原學報 |
卷期 | 24:1 1996.01[民85.01] |
頁次 | 頁31-35 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 多自由度量測系統; 電荷藕合裝置; 傅氏相位偏移法則; Multi-degree of freedom measurement; MDFM; Charge coupled device; CCD; Fourier phase shift algorithm; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文旨在提供一種新的多自由度幾何誤差即時量測系統,主要應用在高精密量床及機床上之幾何誤差校正,包括X、Y兩個直線位移誤差校正以及俯仰角、滾動角、偏折角三個角位移誤差校正,其原理主要是利用二維電荷藉合裝置(CCD)配合傅氏相位偏移方法(FourierPhase Shift A1gorithm)取代傳統中利用四象位光電二極 體定位,而可即時量取五個自由度幾何誤差的數據,以做為精密定位校正的依據,利用本系統所提出的硬體結構及FPS的方法,校正的精度在線位移上可達到1μm'在角位移上可達到0.5arc sec 。 |
英文摘要 | A new multi-degree of freedom measuring system (MDFM) for the geometric errors inc1uding horizontal straightness, vertical straightness, pitch, ro11, and yaw simultaneous measurement on the moving axes of a positioning detector instead of quadrant photo diode and the Fourier phase shift algorithm is used to ca1culate the geometric errors in frequency domain. Experimental results show that the system accuracy of 1μm in the straightness error measurements and 0.5 arc sec in the angular error measurements can be achieved. |
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