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題名 | Ellipsometry by Phase Shifting=相位偏移式橢圓儀 |
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作者 | 朱正煒; 李正中; 傅以勇; 徐進成; 劉裕永; | 書刊名 | Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering |
卷期 | 19:5 1995.09[民84.09] |
頁次 | 頁423-429 |
分類號 | 336.1 |
關鍵詞 | 相位偏移式橢圓儀; Ellipsometry; Phase-shifting technique; Electro-optic modulator; Optical constant; |
語文 | 英文(English) |