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來源資料
真空科技
2:2 1989.05[民78.05]
頁27-36
交通工具工程
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飛機製造
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題名
VLSI時代真空系統的發展趨勢--金屬沈積技術對真空系統的影響=
作者
小日向久治
;
王振宇
;
期刊
真空科技
出版日期
198905
卷期
2:2 1989.05[民78.05]
頁次
頁27-36
分類號
447.6
語文
chi
關鍵詞
真空系統
;
金屬沈積技術
;
VLSI
;
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