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題 名 | 於SiO[feaf]/Si基材上鉭-矽-氮薄膜之濺鍍沈積及其高溫阻銅擴散性質=Sputter Deposition and High-temperature Barrier Properties Against Cu-diffusion of Tantalum-silicon-nitrogen Thin Films on SiO[feaf]/Si Substrates |
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作 者 | 陳慶洪; 陳柏佑; 蔡秉昇; 張勁燕; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 15:3 2002.09[民91.09] |
頁 次 | 頁20-29 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | SiO[feaf]/Si基材; 鉭-矽-氮薄膜; 濺鍍沈積; 高溫阻銅擴散; |
語 文 | 中文(Chinese) |