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來源資料
技術與訓練
27:4=215 2002.08[民91.08]
頁146-152
金屬工藝
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腐蝕及保護;表面處理
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題名
濺鍍薄膜沈積技術簡介=Introduction to Sputtering Deposition
作者
董寰乾
;
張六文
;
書刊名
技術與訓練
卷期
27:4=215 2002.08[民91.08]
頁次
頁146-152
專輯
特殊合金
分類號
472.16
關鍵詞
濺鍍沈積
;
輝光放電
;
Sputtering deposition
;
Glow discharge
;
語文
中文(Chinese)
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