頁籤選單縮合
| 題 名 | 濺鍍薄膜沈積技術簡介=Introduction to Sputtering Deposition |
|---|---|
| 作 者 | 董寰乾; 張六文; | 書刊名 | 技術與訓練 |
| 卷 期 | 27:4=215 2002.08[民91.08] |
| 頁 次 | 頁146-152 |
| 專 輯 | 特殊合金 |
| 分類號 | 472.16 |
| 關鍵詞 | 濺鍍沈積; 輝光放電; Sputtering deposition; Glow discharge; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |