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| 題 名 | 化合物半導體晶圓用高純度碳材料開發=Development of High Purity Carbon Materials for Manufacture of Compound Semiconductor Substrates |
|---|---|
| 作 者 | 許仁勇; 顏永霖; 吳偉誠; 劉鈰誼; | 書刊名 | 技術與訓練 |
| 卷 期 | 50:2=311 2025.06[民114.06] |
| 頁 次 | 頁1-7 |
| 專 輯 | 綠色工業材料專集 |
| 分類號 | 349.3 |
| 關鍵詞 | 石墨塊材; 鹵素純化技術; 碳化矽晶圓製造; Graphite blocks; Halogen purification method; SiC substrate manufacture; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |