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來源資料
機械新刊
101 2025.04[民114.04]
頁57-67
電機工程
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半導體及其他電子裝置
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題 名
半導體製程設備配件的智慧化超音波複合加工技術
作 者
陳政雄
;
書刊名
機械新刊
卷 期
101 2025.04[民114.04]
頁 次
頁57-67
專 輯
半導體加工與設備專輯
分類號
448.65
關鍵詞
半導體先進材料
;
超音波振動輔助加工
;
智慧超音波刀把
;
智慧即時監控
;
遠端服務
;
資安防護
;
語 文
中文(Chinese)
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