期刊篇目查詢-詳情

題　名	原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術=The in-situ Measuring Technologies Applied on Atomic Layer Deposition
作　者	陳建維; 張展源;
書刊名	科儀新知
卷　期	242 2025.03[民114.03]
頁　次	頁64-73
專　輯	「半導體製程檢測設備與in-situ技術」專題
分類號	448.68
關鍵詞	X射線光電子能譜儀; 原子級半導體;
語　文	中文(Chinese)
中文摘要	本技術將X射線光電子能譜儀（X-ray photoelectron spectrometer, XPS）結合原子層沉積系統（atomic layer deposition, ALD）、原子層蝕刻系統（atomic layer etching, ALE）和快速高溫退火系統（rapid thermal processing, RTP）等先進製程模組，並搭配自主開發的晶圓傳輸系統，使樣品可於各模組間進行真空傳輸。除了具備設備自動化的優勢外，最主要目的是要最大程度避免晶片在送至分析腔體的傳送過程中與大氣接觸，利用高真空的條件排除外在環境對晶片表面可能產生的物理、化學或是其它汙染等影響，進而取得最接近樣品原始狀態的真實數據。我們在此平台上已驗證了低含氧ALD薄膜製程的開發，這是過往單機型的ALD設備在沉積此類對水氧高敏感的薄膜製程時難以突破的瓶頸。除此之外，包含薄膜的硫化、氟化、退火乃至電漿還原等製程也藉由與近臨場成分分析技術的搭配，得到高可靠度的化學能譜變化或是成分分析結果，而透過本技術與傳統非臨場分析方法的對照，在多項數據都呈現出此分析方法確實能克服部份環境的影響與干擾。
英文摘要	This technology integrates an X-ray photoelectron spectrometer (XPS) with advanced process modules namely an atomic layer deposition (ALD) system, an atomic layer etching (ALE) system, and a rapid thermal processing (RTP) system and incorporates a self-developed wafer transfer system that enables vacuum transfer of chips between each module. In addition to the advantages of equipment automation, the primary objective is to minimize the chip's exposure to the atmosphere while it is being transferred to the analysis chamber. By maintaining high-vacuum conditions, potential physical, chemical, or other forms of contamination from the external environment are eliminated, thereby obtaining data that closely represents the sample's original state. Using this platform, we have successfully validated the development of low-oxygen ALD thin-film processes -an achievement that addresses the longstanding challenges faced by standalone ALD tools in depositing highly water- and oxygen-sensitive films. Moreover, processes such as film sulfidation, fluorination, annealing, and even plasma reduction can be precisely monitored in near-real time, yielding highly reliable chemical spectroscopic and compositional analysis results. Comparisons with conventional ex-situ methods consistently demonstrate that this approach can indeed overcome certain environmental influences and interferences, providing more accurate and representative data.

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陳建維、張展源 (2025) 。原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術。科儀新知，242 ， 64-73。
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陳建維、張展源。〈原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術〉。《科儀新知》242 2025.03[民114.03] :64-73。
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陳建維、張展源。〈原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術〉。《科儀新知》，242 2025.03[民114.03]，頁64-73。

系統編號	0008469023
刊名	科儀新知
主要題名	原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術

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陳建維、張展源 (2025) 。原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術。科儀新知，242 ， 64-73。
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陳建維、張展源。〈原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術〉。《科儀新知》242 2025.03[民114.03] :64-73。
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陳建維、張展源。〈原子級半導體製程整合in-situ檢測設備技術〉。《科儀新知》，242 2025.03[民114.03]，頁64-73。

臺灣人文及社會科學引文索引資料庫

延伸查詢

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臺灣期刊論文索引系統

國家圖書館「臺灣期刊論文索引系統」簡介

　　「臺灣期刊論文索引系統」（以下簡稱本系統）原名「中華民國期刊論文索引」(紙本)，創刊於民國59年元月，72年開發自動化作業後，在82年以「中華民國期刊論文索引線上新系統」和《中華民國期刊論文索引》(紙本) 同時提供期刊論文索引檢索服務，並於83年開放館外網路連線查詢。87年國家圖書館遠距圖書服務系統建置後，「中華民國期刊論文索引影像系統」與「國家圖書館期刊目次服務系統」提供遠端讀者期刊文獻傳遞服務；94年合併「中華民國期刊論文索引影像系統」與「國家圖書館期刊目次服務系統」並更名為「中文期刊篇目索引系統」，此後不論是檢索或是已授權開放的全文影像之利用，均為免費服務。為更符合資料庫所收錄之期刊係以臺灣之出版品為主，因此，99年再度更名為「臺灣期刊論文索引系統」，冀能提供更具開放性之多功能服務。

　　有鑑於資訊科技的進步，國家圖書館於108-109（2019-2020）年進行《臺灣期刊文獻資訊網》的全面改版更新，希望本系統能與時俱進，使資料庫介面符合最新的網頁設計原則，也希望資料庫能提供更多友善功能，以及整合書目計量相關的資訊。此更新版系統自110（2021）年3月以全新風貌提供全球服務；是國家圖書館為臺灣期刊論文建置索引並提供服務的新里程碑。

臺灣期刊論文索引系統

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本資料庫系統內所提供之資料，不論是篇目資料、或全文影像資料，均只供非營利的學術研究或個人參考利用。利用本資料庫時，請注意以下原則：

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對於獲得授權而於網路上開放的全文影像檔，出版者與作者僅授權國家圖書館的資料庫供眾利用，本館並無再授權之權。請勿轉利用於其他營利或非營利資料庫。如有違反而經出版者或作者告發，由違反者負全部侵權行為的法律責任。

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收錄範圍

　　「臺灣期刊論文索引系統」主要收錄自民國59年以來，本館館藏之臺灣出版的中西文學術期刊、學報以及部分港澳地區出版的期刊逾5,000種，其中約2,800 種為學術期刊。館藏民國以前之學術期刊亦陸續回溯建檔中。至110年3月更新版系統推出時，系統中已包括逾270萬筆篇目資料，其中約42萬篇已獲得出版社或作者授權開放於網際網路供眾使用。

　　本系統所收之期刊論文係以研究論文為主，其他如文藝作品、通訊消息、會計報告、人事動態、定期統計資料、產品介紹、隨筆漫談等均不錄列。收錄於本系統的學術期刊及專業期刊之單篇文獻，就其性質可區分為學術性及一般性。

學術性文獻：

學術性文獻的撰寫格式應大致符合所謂學術著作的基本格式，且包含以下基本的書目資料：出處的期刊與卷期、篇名、作者、摘要、關鍵詞、參考文獻（以註腳或章節附註提供參考資料者亦視之為具備參考文獻）。
研究報告、綜合評述等專業性論著，雖不具完整論文格式，仍歸類為學術性文獻。

一般性文獻：

　　文獻之內容為文件、報導、講話、心得、知識等，僅作為學術研究的參考資料而非論著本身者，則歸屬於一般性文獻。

　　學術性文獻另依據《中國圖書分類法 (試用本)》（國立中央圖書館編訂出版，民國68年）加註該篇文獻所屬分類號，以便提供研究人員得以按類查詢所需資料。「臺灣期刊論文索引」自開始發行紙本迄於今日的新版系統建置，已歷時逾 50 年。此系統不只服務國內大專校院學生及研究人員，也廣為世界學者利用以查詢臺灣的期刊論文；每年使用人次達1,000 萬之多。

　　為落實學術資訊開放與學術文獻檢索利用，並提供有效的知識導航與無償服務，俾能增進文獻的可見度與被引用率，本館積極爭取刊物及個人著作者的無償授權，希望藉由本系統的查詢平台，提高期刊文獻的能見度與被引用，使研究者更能充分利用學術研究成果，從而提升臺灣學術研究效能，進而增進全人類的文化、知識與技術。

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中華民國出版期刊指南系統

國家圖書館「中華民國出版期刊指南系統」簡介

　　「中華民國出版期刊指南系統」係由本館於1996年所建置，旨在提供我國期刊出版之最新概況、促進國內期刊的資訊傳播及加強期刊資源的利用。

　　本系統收錄以臺灣出版發行的期刊、報紙、公報為主，兼收錄少數優選港、澳地區出版之學術期刊，以及部分1945年以前中國大陸出版之重要報刊。使用者可利用本系統提供之查詢服務與期刊瀏覽功能，查得各期刊的出版者資訊，並經由系統提供的本館館藏系統與「全國期刊聯合目錄資料庫」的連結，提供了解國家圖書館與國內其他圖書館的典藏概況，以便就近獲取所需的期刊文獻。

　　本系統提供之期刊相關資訊，包括：中英文刊名、國際標準期刊號（ISSN）、出版（創、停刊）卷期日期、刊期、出版狀態、作品語文、資料性質、資料類型、索摘收錄資料庫名稱、內容簡介、出版單位資訊及訂購資料、得獎紀錄、網路資源連結及該期刊之封面及版權頁等相關影像資訊。

　　本系統所收錄之期刊，係由各期刊出版者依法規送存國家圖書館，謹致謝忱。凡尚未收錄於本系統之期刊，或已錄列於本系統但需補充最新或更正訊息者，本館竭誠歡迎出版者透過期刊授權或聯絡信箱與本館聯繫，亦可將期刊二份郵寄至「100臺北市中山南路20號，國家圖書館館藏組收」。送存國家圖書館可獲得典藏保存，以及發揮即時傳佈之功效，尤其學術期刊送存而經建檔索引，對於提高被檢索與利用，尤具效用。

中華民國出版期刊指南系統

【中華民國出版期刊指南系統】功能介紹

查詢服務：可利用期刊刊名、國際標準期刊號(ISSN)、出版單位、出版地、主題、語文，以及出版日期進行查詢。

期刊瀏覽：包含停刊期刊、得獎期刊、期刊網站、期刊分類，提供我國出版期刊動態訊息

期刊授權：提供授權書下載的連結，歡迎期刊出版單位下載列印，簽署授權後郵寄至國家圖書館知識服務組收，並於信封上註明 [期刊授權]。

出版社資訊更新：如果出版社相關資訊變更，請E-mail通知本館（nclper@ncl.edu.tw），本館即進行此指南系統的資訊更新。

檢索歷程：使用查詢功能之後，系統會將歷次檢索過程中每個步驟之策略及結果加以記錄並顯示。

中華民國出版期刊指南系統

出版品類別

本系統收錄期刊雜誌之出版品類別區分為：

1.一般期刊：

具備固定刊名，依數字或日期順序編號發行，標示主編或出版者身分及出版發行國別，刊期7日以上不滿1年之一般性刊物。

2.學術期刊：

具備固定刊名，依數字或日期順序編號發行，標示主編或出版者身分及出版發行國別，刊期7日以上不滿1年之學術性刊物。

3.出版間隔一年以上或不定期之學術連續性出版品：

具備固定刊名，依數字或日期順序編號發行，標示主編或出版者身分及出版發行國別，出版間隔一年以上或不定期之學術連續性出版品。

4.其他：

具備固定刊名，依數字或日期順序編號發行，標示主編或出版者身分及出版發行國別，出版間隔一年以上或不定期之非學術連續性出版品。

漢學中心典藏大陸期刊篇目索引資料庫

系統簡介

　　本索引資料庫為查檢漢學中心典藏的大陸期刊篇目而設，以《中國知網》未收期刊及雜誌書為主，兼收部分連續性論文集，選錄文章以文史哲、社會科學等學術性論文為主。可檢索刊名、篇名及作者等欄位。

中國文化研究論文目錄（1946-1979）資料庫簡介

系統簡介

　　此資料庫是將《中國文化研究論文目錄（1946-1979）》所收錄的文獻，建檔收錄於資料庫中，所收錄的近三十年資料包括期刊、報紙、論文集、學位論文、行政院國家科學委員會（現在的科技部）研究報告中有關中國文化研究的單篇論文；總計包括期刊文獻901篇，專書論文11萬多篇，15種報紙中的論文3萬多篇，論文集205種，論文3,900篇，學位論文2,200多篇，行政院國家科學委員會研究報告1,200多篇。使數量龐大卻又分散於各不同類型文獻中的中國文化研究相關論文，得以藉由此目錄索引資料庫而簡化查詢途徑。

Table of Contents of Chinese Literature (Monograph Series, 1946-1979)

序

　　自政府遷臺以來，迄今三十餘年，由於政治革新，社會安定，經濟繁榮，教育普及，遂使臺澎金馬復興基地在各方面均有空前之成就，學術文化研究成績斐然，亦屬空前成就之一。在學術文化研究之中，對中國文化之研究乃近三十年來國人熱衷對象之一項，報章雜誌中有關中國文化研究之論文為數極夥。吾人今日反共為一文化之爭，蓋中共信奉馬列共產主義，而馬列共產主義與中國文化實背道而馳，其表現於清算鬥爭、人民公社、文化大革命、批孔揚秦，均屬摧毀中國文化之具體表現。民國五十五年十一月十二日先總統蔣公在國父百年誕辰紀念會中倡導中華文化復興運動，其主旨即在保衛中華文化，並使中華文化得以發揚，以對抗中共毀滅中國文化之暴行。民國五十六年七月二十八日本會成立，中華文化復興運動遂積極推行，各項工作齊頭並進，而加強研究中國文化即為本會重要工作之一。

　　中華文化源遠流長，內涵博大，但未必全盤適合今日之時代，乃極易明瞭之事理。自清末以來，外侮日亟，國勢日替，國人多有歸罪於中國傳統文化者，以為中國傳統文化已舊已老，應予打倒，另迎外來全新之文化，於是形成民國初年思想界之駁雜混亂，提倡社會主義者有之，提倡資本主義者有之，提倡無政府主義者有之，而共產主義亦乘隙而入。故知今日中國之悲劇乃肇因於文化妝題，而中共之得勢不過其結果之一表象而已，欲解開當前中國悲劇之結，從文化入手實乃最根本、最澈底之途徑。中華文化源遠流長，內涵博大，但未必全盤適合今日之時代，乃極易明瞭之事理。自清末以來，外侮日亟，國勢日替，國人多有歸罪於中國傳統文化者，以為中國傳統文化已舊已老，應予打倒，另迎外來全新之文化，於是形成民國初年思想界之駁雜混亂，提倡社會主義者有之，提倡資本主義者有之，提倡無政府主義者有之，而共產主義亦乘隙而入。故知今日中國之悲劇乃肇因於文化妝題，而中共之得勢不過其結果之一表象而已，欲解開當前中國悲劇之結，從文化入手實乃最根本、最澈底之途徑。

　　其實，民族文化之革新必不能完全脫離舊傳統而從頭另起爐灶，成功之文化變遷乃老樹幹上生新芽，故今日論中華文化復興，不可將舊傳統一律丟棄而全盤西化，亦不可固執傳統一成不變，乃須研究如何在傳統基礎上創新文化。然則，傳統文化中何者為精？何者為蕪？應如何去蕪存精？應如何吸取外來文化之適於國情者？應如何創新中華文化？應如何發揚中華文化？均待國人詳加研討，反覆析論，始能獲致正確答案。因此，研究討論中華文化極屬重要。國人於此雖早有論述，而本會自成立以來，對中華文化作各種不同角度之研析尤予鼓勵，其成果頗有可觀，論文篇章之繁多為其具體表現也。

　　本會鑑於近三十年來研究中國文化之論文數量龐多，且分散各報章雜誌，苟無目錄索引，查閱至為不便，甚至不免有無從下手之感。故本會早有意編印「中國文化研究論文目錄」，俾供中外人士研究中國文化者之檢索，亦總結研究中國文化之成果也。然此一編輯工作須具專業知識，本會人手不足，又缺乏蒐集資料之環境，無力自任其責，今商得國立中央圖書館王館長振鵠先生之同意，由本會撥付編輯經費，國立中央圖書館負編輯工作之責。

　　本書於民國六十九年一月由本會學術研究出版促進委員會執行秘書王壽南博士首先策劃，同年三月十六日國立中央圖書館正式開始編輯工作。編輯工作由該館閱覽組主任張錦郎先生主持，歷時一年有餘，至七十年八月編輯完竣，並由本會委請臺灣商務印書館出版發行。

　　在本書付梓之際，對王壽南先生之妥善策劃，王振鵠館長之鼎力協助，張錦郎先生與參與編輯人員之辛勞工作，謹致敬佩之意，是為序。

民國七十年十二月三日

陳奇祿謹識

於中華文化復興運動推行委員會

中國文化研究論文目錄

凡例

一、中華文化復興運動推行委員會與國立中央圖書館為總結、整理近三十年來國人闡揚與研究中國文化的單篇論著，藉以綜覽三十年來國人文史哲學科研究的成果；並便利中外學術研究工作者檢索參考，爰編「中國文化研究論文目錄」。

二、本書收錄期刊、報紙、論文集、學位論文、行政院國家科學委員會研究報告中有關中國文化研究的單篇論文，條目凡十二萬餘。其中期刊九０一種，論文八萬餘篇；報紙十五種，論文三萬二千餘篇；論文集二０五種，論文三千九百餘篇；學位論文二千二百餘篇；行政院國科會研究報告一千二百餘篇。

三、本書所收錄的期刊、報紙、論文集、學位論文及行政院國家科學委員會研究報告等，以民國三十八年至六十八年底在臺出版者為主，兼收同一時期海外自由地區出版的期刊及論文集，並酌收三十四年至三十七年在臺出版的期刊、報紙及論文集。

四、本書收錄期刊以各大專院校的學報、各學術研究機構定期或不定期出版的集刊及定期出版的學術期刊（如大陸雜誌、食貨、中華文化復興月刊等）為主，兼及文史哲學系系刊或會刊，如為大學院校綜合性校刊，知見所及，也加以收錄。地方文獻期刊，本書單收各省文獻期刊，惟臺灣省則兼及縣市政府文獻委員會出版的期刊。其他一般期刊及科技刊物，如有論及中國文化的，也酌予收錄。

本書收錄的報紙，因人力及物力所限，暫收十五種，其他如臺灣時報、民眾日報、民族晚報、國語日報（已收書和人雙週刊）及海外僑報等容續編時補入。

本書收錄的論文集，包括個人自著及二人以上合著（編）兩種。收錄個人自著的論文集，原因有：

（一）原在期刊、報紙、會議報告上發表後，結集成書時復加修訂；

（二）有尚未在期刊、報紙上發表的；

（三）原發表的期刊及報紙本書未收錄的，因此，此種論文集，仍有收錄的價值。二人以上合著（編）的論文集指開國紀念論文集，機關學校成立論文集、祝賀生日或退休論文集，或就某一主題編輯的論文集，或學術會議的研究報告等，本書對於論文集尚未及收入的，擬在續編時補入。

五、本書所收錄的期刊、報紙及論文集，各編有一覽表，列於每冊之後，以供參考。

六、目錄索引的編製，對於論文取捨的標準，頗難獲得共同一致的看法。如僅供專家學者利用，收編學術期刊及論文集即可；但研究生、大學生及一般社會人士的需要，仍需顧及；同時目錄索引的作用，在整理既有的成績，或藉論文的種類與多寡，看出學術研究的趨向。因此，本書收錄論文的原則在兼顧多方面的需要，茲再條舉數點，輔助說明如下：

（一）學術期刊全收，包括通訊、短評、來函更正的短文、補白等。

（二）普通人文及社會科學刊刊則儘量收錄，惟不收短評及補白文字等。

（三）自然科學及應用科學期刊甚多，其中偶有文史哲學方面的論文，本書據「中華民國期刊論文索引」、「中文期刊論文分類索引」等抄錄，未能一一檢查原文。

（四）通俗性期刊偶有資料性或史料性論文，本書亦兼收錄。

（五）地方性文獻期刊論文資料頗多，其中內容大部份為歷史、人文地理資料；尤其是傳記資料特別豐富，本書均儘量收錄。

（六）報紙除收錄副刊、特刊外，兼及有關的社論、專欄、訪問稿、演講摘要、有重大貢獻人物的逝世消息、追悼回憶文字等。

（七）原則上不收錄報紙上的「方塊」短文，或報刊上的讀者投書；惟重要者亦加收編，如聯合報易金撰「幕前幕後」，常有文史或人物資料，酌予收錄。

（八）個人自著的論文集或就某一主題編輯的論文集，其中所收論文有發表於抗戰前後的，如鄭騫撰「從詞到曲」一書載有抗戰前論文，也予以收錄。

（九）有關文史哲學的會議報告、紀錄、消息等，亦予以收錄。

（十）凡並論古今的論文，也予以收入。如張振鐸撰「從歷代職官之演變看現行兩大任用制度能否並行不悖」（人事行政五十五期）。

（十一）討論語文教育的論文甚多，本書以收大中學語文教學為主，兼論中小學語文教學的，亦酌予收錄；歷史教學論文亦同。

（十二）傳記類外籍人物收錄的標準，必須在本國任職工作較久，其事蹟與我國有關者，如英人赫德（ Robert Hart ）供職我國政府垂五十年，其事蹟與清末新政有關，亦著錄之。

（十三）一稿分見數處的論文，仍一一著錄。

七、本書共分六冊，即：第一冊包括國父與先總統蔣公研究、文化與學術、哲學、經學、圖書目錄學；第二冊語言文字學，文學；第三冊歷史

（一）史學、通史、斷代史、考古學、民族民俗學；第四冊歷史

（二）專史（學科史）；第五冊傳記；第六冊著者索引。各類論文篇數多寡不一，或分或合，以便檢查。

八、本書均按論文內容歸類編排。其分類方法儘量與「中國圖書分類法」配合，以便讀者檢索資料。

九、本書各冊均分數大類，大類之下再細分子目。各冊類目表附於書前，類名後並列各類論文編號起訖號碼，以便讀者檢索資料。

十、本書分類表類目的擬定，視收錄篇章的多寡而建立，故有精粗詳略的分別（一般情形以收錄十五篇以上始立款目，其未立款目而無相近類目可歸類時，皆彙入該大類通論之內）。

十一、本書對於分類的原則，有下列幾點說明：

（一）將有關國父與先總統蔣公的論文，集中在首冊「國父與先總統蔣公」類內，以示崇敬。如「國父與中國文化」、「先總統蔣公的哲學思想」等論文，均收在此類。

（二）書評、序跋、書目、索引、版本等，依其性質歸入各有關類目，如紅樓夢研究書目，歸入文學古典小說，文心雕龍版本考，歸入文學批評；泛論書評、序跋、書目、索引、版本的論文，始入圖書目錄學。

（三）凡論文內容涉及兩個時代以上的，歸入最前的時代，如「漢唐宰相制度的比較」，歸入漢代政治制度。

（四）凡討論一個人的哲學思想，歸入哲學類各時代哲學家；如論及專門學科的哲學思想，則按其學科性質，分別歸入各有關學科。如論孔子的哲學思想，歸入先秦哲學家，孔子的教育哲學，歸入歷史類（二）教育史（第四冊）。論非哲學家的思想，歸入傳記；如胡適撰「傅斯年的畢生思想」，入傳記。

（五）本書設經學類，收錄有關易、書、詩、三禮、春秋及三傳、論孟、孝經等十二經論文；惟小學類字書、訓詁、聲韻等入語言文字學（第二冊）。其專論各經某一篇章的，仿經義考例，依序排列。

（六）綜論語法的論文，歸入語言文法，如專論一書的語法，則依該書分類。如趙元任撰「國語的語法和詞彙問題」，入語言；許世瑛撰「論語學而篇的句法分析」，入論語。

（七）語言類方言目及歷史類方志目，均按地區分為：北部地方、中部地方、南部地方、東北地方、熱察綏寧及蒙古、新疆青海西藏、臺灣等。

（八）文學類兒童文學目，包括童詩、童謠、童歌、童話等，均不入民俗歌謠類。

（九）敦煌學收錄有關敦煌資料的發現經過、收藏情形、整理與研究考證等文字；如有利用敦煌資料研究文學、宗教、經學等文字，則歸入各有關類目。如「敦煌寫卷『鷰子賦』成立的時代」一文，入文學類。

（十）古文字，如甲骨文、金文、石鼓文等歸入考古學類，不入文字學，如國立臺灣大學中國文學系古文字研究室編印的「中國文字」，其論文大部份均歸入考古學類。

（十一）本書第四冊為學科史，惟下列有關學科史論文分入各類：

1.文化史、中國文化史、學術史，歸入首冊文化與學術類。

2.圖書館史歸入首冊圖書目錄學類；惟博物館史歸入學科史。

十二、本書對於傳記人物的分類，有下列幾點說明：（一）國父與先總統蔣公的傳記論文收在首冊。

（二）外國漢學家歸入文化與學術（首冊）類漢學研究。

（三）凡論題涉及正史列傳的人物，依所討論的正史歸類，不入傳記。如「史記伯夷列傳」、「史記屈賈列傳疏證」等，均入史記。

（四）歷史類方志目所收傳記人物，原則上以發表在地方文獻刊物上，其事蹟與近代地方活動有密切關係者為主，其他報刊上有類似此類論文的也歸入此目。

（五）宗教人物除佛教人物在傳記類另立一目外，其餘均與一般人物分類法相同。

（六）討論族譜、姓氏、生卒年、傳記文學等論文，均歸入傳記類。

（七）傳記類分傳先依時代分，同一時代再按被傳者姓名筆劃排列。被傳者姓名如另有習慣稱呼（如字號、筆名），則依習慣稱呼排列。

（八）哲學家與文學家先按時代分，其時代以卒年為準，同一時代再按出生年代先後排列。惟本書所列依時代分，先秦時代不包括秦代。

十三、本書著錄的款目，依表格式排列，以資醒目。凡期刊論文則注明：篇名編號、篇名、著譯者、刊名、卷期、頁次、年月。報紙論文則注明：篇名編號、篇名、著譯者、報名、版次、年月日。論文集論文則注明：篇名編號、篇名、著譯者、論文集名稱、頁次、年月。學位論文則注明：篇名編號、篇名、著者、研究所名稱、畢業年度、頁數。國科會研究報告則注明：篇名編號、著者、國科會補助的學年度。

十四、本書對於上述各款目的著錄與處理方式，說明如下：

（一）篇名

1.凡連載的論文，篇名相同時，祇列舉一次篇名；如連載時有不同的子目，則分別予以標明。

2.凡篇名字義不足以顯示其內容者，在篇名後以括弧加注按語，如甲凱撰「翰苑書賊」，加注係談永樂大典。篇名另標有副標題的，照錄。如莊嚴撰「山堂清話」，注明副標題：回憶故宮四十年；惟副標題如為一般客套語，則略去。如為○○典禮上致詞，○○會議上報告等，均略去。

3.本書對於重要學術論文偶加注子目，重要傳記人物，偶加注籍貫、字號、生卒年等，以提示其論點所在。

4.原報刊篇名誤排時，均予以更正，依正確篇名著錄。

5.書評缺原書名或著者不全時，均檢出補正。

6.傳記論文缺被傳者姓名的，檢出補正。報刊上傳記論文的篇名每有題意不明確者，本書著錄時偶有更改（或加字號、生卒年等），另在篇名後加原題目名稱。

7.凡篇名討論二個以上主題時，作分析片，歸入有關各類。如「陶謝詩韻與廣韻之比較」，分別歸入陶淵明（文學古典詩）、謝靈運詩（文學古典詩）及廣韻（語言聲韻）。

8.如論文附有英文摘要或英文稿附有中文摘要的，均在篇名後注明。

（二）著譯者

1.著譯者以期刊或論文集內文所題者為主，如與目次所題不同，依常見者著錄。如東方雜誌第 6卷11期（民國62年 5月）「伏波將軍馬援」一文，目次著者題「蔣君章」，內文標「惜秋」，依「蔣君章」著錄。

2.著者如係二人，俱錄；二人以上，依篇名中所列第一人為著者，稱「某某等」。

3.著者未署名，題「未具名」；如屬社論，注明「社論」；早期「聯合報」社論分為全民日報、民族報、經濟時報三種，均分別著錄。

4.演講稿，講演者與紀錄者名下，統一題○○○講，如繪圖與○○○記著者非同一人，注明○○○文。 ○○○圖

（三）卷期期刊卷期的著錄方法，如「 3： 2」，表示 3卷 2期；如僅有卷號而無期數，或僅有期數而無卷號，則僅著錄其卷號或期數；期刊合刊的著錄方法，如「 3：1/2 」表示 3卷 1、2 期合刊；期刊連續的著錄方法，如「 3： 1─6 」，表示 3卷 1期至 6期。

（四）頁次頁次的著錄方法，如「 3─5 」表示 3至 5面；如〔35〕，表示連載論文累積的總夏數或學位論文的頁數。如有圖表頁次另計者（「故宮季刊」大都如此），加以注明。

（五）出版日期出版日期的著錄方法，如「56．7 」，表示56年 7月；如「56 ． 7、9 」，表示56年 7月， 9月；如「66． 3─5 」，表示 66年 3月至 5月；如「67． 4、 1─5 ．28」，表示67年 4月 1日至 5月28日；如「55．11．17，24；12． 6，13」，表示 55年11月17日，24日，55年12月 6日，13日。餘類推。

十五、第六冊為著者索引。著者索引的目的，是輔助分類目類之不足。本書係依類編排，同一著者的論文分散在各冊，如欲查考某著者的論文收編在那一冊，或欲瞭解某著者的研究方向和成果，可利用著者索引檢索。著者索引包括個人著者及團體著者。均依其姓名或團體名稱的筆劃排列。筆劃相同的依前國立北平圖書館中文目錄檢字表「、—︱／」四部的先後順序排列。著譯者名稱後附以所著譯論文的篇名編號，編號首字為冊數代號，如「 305671 」，表示該著者論文收在第 3冊第 5671 號。若有重號則以 *或**區別之。

十六、著者索引對於同名而非同一著者，儘可能查出，分別著錄；對於同一著者分別以本名、筆名、別名發表者，亦儘量歸併在本名下；論文如係二人合著、合編、合譯等，均分別著錄。外籍人士以姓氏英文字母順序排列。

十七、本書除第六冊外，每冊書後附有收錄期刊、報紙、論文集一覽表。期刊一覽表注明：刊名、創刊（復刊）年月、出版地、出版者、本書收錄的卷期、收錄的篇數及涵蓋的年代。罕見期刊注明收藏機關。間亦注明編者或刊名、刊期變更經過；報紙一覽表注明：報名、創刊年月日、收錄的年月及篇數，間亦注明停刊及改名經過；論文集注明：書名、編者、出版年、出版地、出版者、頁數及所收篇數。

十八、本書收錄的期刊或論文集有用簡稱的，分別在收錄期刊或論文集一覽表內，注明全名。如「史語所集刊見中央研究院歷史語言研究所集刊」。

十九、本書大部份論文均經寓目，期其可信，編輯態度亦力求慎重，但因編者學力所限，錯失在所難免，尚望方家不吝指正，俾於再版時訂正補充，是所企盼。

Table of Contents of Chinese Literature (Monograph Series, 1946-1979)

編輯委員

主編：中華文化復興運動推行委員會
編輯：國立中央圖書館
出版：臺灣商務印書館發行

各冊編輯委員：
第一冊：國父與先總統蔣公研究文化與學術哲學經學圖書目錄學
編輯者：張錦郎（召集人）王錫璋吳碧娟王國昭
助理編輯：俞寶華施希孟
校訂者：喬衍琯劉兆祐王國良林慶彰

第二冊：語言文字‧文學類
編輯者：張錦郎（召集人）王錫璋吳碧娟王國昭
助理編輯：俞寶華施希孟劉美鴻
校訂者：喬衍琯劉兆祐王國良林慶彰

第三冊：歷史類
編輯者：張錦郎（召集人）王錫璋吳碧娟王國昭錢月蓮
助理編輯：俞寶華施希孟劉美鴻
校訂者：喬衍琯劉兆祐王國良林慶彰

第五冊：傳記類
編輯者：張錦郎（召集人）王錫璋吳碧娟王國昭
助理編輯：俞寶華施希孟
校訂者：喬衍琯劉兆祐王國良林慶彰