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| 題 名 | 線性移動臺之體積誤差建模與量測 |
|---|---|
| 作 者 | 魏承弘; 何昭慶; | 書刊名 | 量測資訊 |
| 卷 期 | 217 2024.09[民113.09] |
| 頁 次 | 頁116-125 |
| 分類號 | 440.7 |
| 關鍵詞 | 微米級精密量測; 五自由度測量系統; 阿貝原則; 布萊恩原則; 體積誤差; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本研究自行開發一套五自由度測量系統並用於線性移動台的測量,該系統利用不同光學元件 與穩頻氦氖雷射進行系統設計,實現同時進行定位誤差、水平與垂直兩個方向的直線度誤差以及 偏擺與俯仰兩個角度誤差的測量,且可以在高速的情況下進行。本五自由度測量系統結構簡單容 易安裝且低成本,直線度誤差測量精度為±1 μm、角度誤差測量精度為±1 arc-sec,定位誤差測 量精度為 2 ppm。體積誤差則是在符合阿貝原則與布萊恩原則的條件下建立,可以計算出測量目 標更為準確的定位誤差。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。