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來源資料
工業安全衛生月刊
424 2024.10[民113.10]
頁3-24
電機工程
>
半導體及其他電子裝置
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題 名
改進與開發製程設備安全評估智能自動化--以半導體濕蝕刻及薄膜製程設備為例
作 者
鄒欣潔
;
張翼
;
書刊名
工業安全衛生月刊
卷 期
424 2024.10[民113.10]
頁 次
頁3-24
分類號
448.65
關鍵詞
半導體
;
安全評估
;
製程設備
;
自動化
;
語 文
中文(Chinese)
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