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來源資料
機械工業
487 2023.10[民112.10]
頁56-61
電機工程
>
半導體及其他電子裝置
相關文獻
高速3D缺陷檢測
藍寶石晶圓平坦度量測技術
晶圓翹曲量測技術
頁籤選單縮合
基本資料
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匯出書目
題 名
高速3D缺陷檢測=High-speed 3D Defect Detection
作 者
黃仲寧
;
張柏毅
;
書刊名
機械工業
卷 期
487 2023.10[民112.10]
頁 次
頁56-61
專 輯
高精密量測技術專輯
分類號
448.65
關鍵詞
條紋反射法
;
3D缺陷
;
全域量測
;
Fringe reflection method
;
3D defect
;
Full field measurement
;
語 文
中文(Chinese)
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