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題名 | 結合梯度軸向繞射光場技術之非接觸式共焦表面輪廓檢測 |
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作者姓名(外文) | Sze, Jyh-rou; Wei, An-chi; | 書刊名 | 量測資訊 |
卷期 | 211 2023.06[民112.06] |
頁次 | 頁38-47 |
專輯 | 精密量測.2 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 非接觸式共焦表面輪廓檢測; 精密量測; Confocal surface profilometry; Gradient-intensity probe beam; Quasi-Bessel beams; |
語文 | 英文(English) |