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題 名 | 鋁鈧化合物靶:製程、應用及其市場=Fabrication of AlSc Targets: Manufacturing Processes, Applications and Markets |
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作 者 | 張家銘; 黃揚升; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 425 2022.05[民111.05] |
頁 次 | 頁71-81 |
專 輯 | 化合物半導體材料技術專題 |
分類號 | 440.39 |
關鍵詞 | 鋁鈧靶; 霧化金屬粉末; 真空蒸餾純化; AlSc target; Atomized metal powders; Vacuum distillation purification; |
語 文 | 中文(Chinese) |