頁籤選單縮合
題名 | 鋁鈧化合物靶:製程、應用及其市場=Fabrication of AlSc Targets: Manufacturing Processes, Applications and Markets |
---|---|
作者 | 張家銘; 黃揚升; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 425 2022.05[民111.05] |
頁次 | 頁71-81 |
專輯 | 化合物半導體材料技術專題 |
分類號 | 440.39 |
關鍵詞 | 鋁鈧靶; 霧化金屬粉末; 真空蒸餾純化; AlSc target; Atomized metal powders; Vacuum distillation purification; |
語文 | 中文(Chinese) |