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來源資料
量測資訊
207 2022.09[民111.09]
頁15-22
電機工程
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半導體及其他電子裝置
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題名
半導體原物料不純物計量標準--鉛溶液驗證參考物質
作 者
郭俊廷
;
陳宥璇
;
書刊名
量測資訊
卷期
207 2022.09[民111.09]
頁次
頁15-22
專輯
半導體檢測與計量
分類號
448.65
關鍵詞
半導體原物料
;
微量金屬不純物
;
計量標準
;
鉛溶液
;
驗證參考物質
;
語文
中文(Chinese)
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